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聚焦離子束顯微鏡FIB-SEM的詳細介紹

2021年09月18日 10:52 ? 次閱讀

一、FIB設備型號:Zeiss Auriga Compact

聚焦離子束顯微鏡 (FIB-SEM)

聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合成為FIB-SEM雙束系統后,通過結合相應的氣體沉積裝置,納米操縱儀,各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一個集微區成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。其應用范圍也已經從半導體行業拓展至材料科學、生命科學和地質學等眾多領域。為方便客戶對材料進行深入的失效分析及研究,金鑒實驗室現推出Dual Beam FIB-SEM業務,并介紹Dual Beam FIB-SEM在材料科學領域的一些典型應用,包括透射電鏡( TEM)樣品制備,材料微觀截面截取與觀察、樣品微觀刻蝕與沉積以及材料三維成像及分析等。

金鑒實驗室蔡司Zeiss Auriga Compact FIB-SEM技術參數:

AURIGA?Compact
主機臺
FESEM FIB
分辨率 0.9nm?at?30kV?
1.2nm?at?15kV?and?opTImum?WD
2.5nm?at?1kV?and?opTImum?WD
5nm(30kV,1pA)
放大倍率 12x-1000kx 600x-500kx
束流 4pA-100nA 1Pa-20nA
加速電壓 0.1-30kV 1-30kV
電子槍 肖特基熱場發射型 Ga液態金屬離子源(LMIS)

二、FIB設備型號:FEI Helios Nanolab 450S

用FIB切割樣品,然后用SEM對缺陷進行定位和成像。

使用FIB可以切一樣品薄片厚度(30-50nm),取出以后,然后用帶有EDS/EELS探測器的TEM/STEM對其成像同時測量其化學性質。

Helios NanoLab 450S是高通量、高分辨率TEM制樣、成像和分析的理想選擇。

其獨有的可翻轉樣品臺和原位STEM探測器可以在幾秒鐘內從制樣模式翻轉到樣品成像模式,且無需破真空或將樣品暴露在環境中。

金鑒實驗室FEI Helios Nanolab 450S FIB-SEM技術參數:

三、FIB設備型號:FEI Scios2

超高分辨率聚焦離子束掃描電子顯微鏡,可進行高質量樣品制備和3D表征。通過將Scios 2 DualBeam的最新技術創新與可選配的、易使用的、全面的 Thermo ScienTIfic AutoTEM 4軟件以及賽默飛世爾科技的應用專業知識相結合,可快速方便地制備用于多種材料的現場指定高分辨率 S/TEM樣品。

金鑒實驗室FEI Scios2 FIB-SEM技術參數:

電子束分辨率,最佳工作距離

? 在 30 keV (STEM) 下,為 0.7 nm

? 在 1 keV 下,為 1.4 nm

? 1 keV 時為 1.2 nm,配備電子束減速*

電子束參數空間

? 電子束電流范圍 :1 pA - 400 nA

? 實際著陸能量范圍 :20* eV - 30 keV

? 加速電壓范圍 :200 V - 30 kV

靈活的5軸電動載物臺

? XY 范圍 :110 mm

? Z 范圍 :65 mm

? 旋轉 :360?(無窮)

? 傾斜范圍 :-15? 至 +90?

? XY 重復性 :3 μm

四、聚焦離子束技術(FIB)注意事項:

(1)樣品大小5×5×1cm,當樣品過大需切割取樣。

(2)樣品需導電,不導電樣品必須能噴金增加導電性。

(3)切割深度必須小于10微米。

五、金鑒實驗室FIB-SEM技術及應用:

1.FIB透射樣品制備流程

對比與傳統的電解雙噴,離子減薄方式制備TEM樣品,FIB可實現快速定點制樣,獲得高質量TEM樣品。

樣品制備是T EM分析技 術中非常重要的一環,但由于 電子束的穿透力很弱,因此用 于TEM的樣品必須制備成厚度 約為0.1μm的超薄切片。要將 樣品切割成如此薄的切片,許 多情況下需要用到FIB(Focus Ion Beam,聚焦離子束) 進 行TEM樣品的制備。

poYBAGFFU1CACgK1AAABuSuYM5Q357.gif

最終減薄TEM樣品結果:

2.材料微觀截面截取與觀察

SEM僅能觀察材料表面信息,聚焦離子束的加入可以對材料縱向加工觀察材料內部形貌,通過對膜層內部厚度監控以及對缺陷失效分析改善產品工藝,從根部解決產品失效問題。

(1)FIB切割鍵合線

利用FIB對鍵合線進行截面制樣,不僅可以觀察到截面晶格形貌,還可掌控鍍層結構與厚度。

(2)FIB切割芯片金道

金鑒實驗室FIB-SEM產品工藝異常或調整后通過FIB獲取膜層剖面對各膜層檢查以及厚度的測量檢測工藝穩定性。

(3)FIB切割支架鍍層

利用FIB切割支架鍍層,避免了傳統切片模式導致的金屬延展、碎屑填充、厚度偏差大的弊端,高分辨率的電鏡下,鍍層晶格形貌、內部缺陷一覽無遺。

FIB-SEM掃描電鏡下觀察支架鍍層截面形貌,鍍層界限明顯、結構及晶格形貌清晰,尺寸測量準確。此款支架在常規鍍鎳層上方鍍銅,普通制樣方法極其容易忽略此層結構,輕則造成判斷失誤,重則造成責任糾紛,經濟損失!

FIB-SEM掃描電鏡下觀察支架鍍層截面形貌。此款支架在鍍銅層下方鍍有約30納米的鎳層,在FIB-SEM下依然清晰可測!內部結構、基材或鍍層的晶格、鍍層缺陷清晰明了,給客戶和供應商解決爭論焦點,減少復測次數與支出。

(4)FIB其他領域定點、圖形化切割

3. 誘導沉積材料

利用電子束或離子束將金屬有機氣體化合物分解,從而可在樣品的特定區域進行材料沉積。本系統沉積的材料為Pt,沉積的圖形有點陣,直線等,利用系統沉積金屬材料的功能,可對器件電路進行相應的修改,更改電路功能。

責任編輯:tzh

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